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  • 無塵車間保潔方案
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    無塵室潔凈度定測量標準是什么?

    無塵室潔凈度定期檢測及測量標準
    1、為了保證 href="http://www.wfxxhp.com/NewsView.asp?ID=496&SortID=41">無塵室的潔凈度滿足工藝要求,必須定期對無塵室內的潔凈度進行檢測。
    2、 檢測測試設備:激光粒子記數器
    3、檢測周期:每周一上午、下午對各潔凈區域進行一次檢測
    4、檢測條件:靜態潔凈度測試
    5、數據收集整理:將每次檢測的結果輸入監控室的電腦中儲存,并在每個季度末(或下季度初)給各部門發該季度的 href="http://www.wfxxhp.com/NewsView.asp?ID=498&SortID=41">潔凈度記錄圖表電子檔通報給各部門。
    6、各潔凈區域潔凈級別標準:按照《半導體公司能源管理標準》要求執行。
    潔凈等級標準
    相當于ISO級別
    等效于GB級別
    K-1系統劃片區域
     
    靜態1萬級  
    K-1系統改造前為靜態10萬級 
    CLASS 7
    CLASS 8
    CLASS 7
    CLASS 8
    K-2系統包封區域
    靜態30萬級 
    CLASS 83
    CLASS 83
    K-3系統搪錫區域
    靜態30萬級 
    CLASS 83
    CLASS 83
    K-4系統測試區域
    靜態30萬級 
    CLASS 83
    CLASS 83
    K-8系統電鍍區域
    靜態30萬級 
    CLASS 83
    CLASS 83
    現有其他空調系統
    舒適性空調系統,無潔凈要求 
    Not Applicable
    Not Applicable
    7、 href="http://www.wfxxhp.com/NewsView.asp?ID=498&SortID=41">無塵室用凈化空調系統及設備的維護管理與相應的操作規程、維修制度等(包括凈化空調系統和潔凈室相關的公用動力系統的設備、管線等管理維護,如,空氣過濾器、空調機、局部凈化設備、冷凍機及水泵、純水設備、配電設備、安全報警設施等)
    來源:   發布時間:2011.04.29
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