? 一、 不帶入
? 1、 室內堅持正壓。
? 2、 建物要嚴密,HPEA及框架沒有走漏。
? 3、 作業人員須依規則更衣經浴塵室再進入潔凈室。
? 4、 機器.資料.工具.須經清潔方可進入潔凈室。
? 5、 非必要之物品制止攜入
? 二、 不堆積
? 1、 不形成不易清掃的死角,機器中心要易于肅清。
? 2、 風管及配置要防止露于室內。
? 3、 有計畫有基準的實施清掃的任務。
? 三、不發生
? 1、 潔凈室內裝資料的適中選用。
? 2、制程設備的發塵抑制。
? 3、消費自動化及人員不聚集.舉措放輕。
? 4、 無塵衣及潔凈室公用用具的運用及管理。
? 四、 掃除
? 1、 換氣次數須足夠契合規則。
? 2、污染源須有排氣設備直接吸除。
? 3、施工后須馬上清潔。
? 4、 氣流的構成要設計妥當,防止塵埃附著在產品上。
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